CEATEC JAPAN 2017 ( Official Website )

(株)アドバンストスパッタ

URL: http://www.ad-sput.com

展示エリア: デバイス・ソフトウェアエリア
小間番号: D323
出展予定品目: 素材・電子材料関連

出展製品

出展製品情報 1

タッチパネル用ITO薄膜

現在，パソコンやスマートフォン等ではディスプレイ面からの指示を主に指先で行っている．この時，透明導電膜である，ITO薄膜が主に使用されている.　しかしながら,成膜時の基板温度上昇により,樹脂等の安価なフィルム基板が使用できずに，高価なゴリラガラスが用いられている．これからは,ディスプレイも有機EL(OLED)となり，プロセス温度を低く保つ必要が出てくる．このナチュラトロンの特長は,プラズマダメージのない低温成膜なので,まさに，OLEDディスプレイに最適な成膜プロセスである．
　ここで重要なのは,低温でどのような低抵抗の膜が作製できるかである．PETフィルム等の高温にできないフィルム基板上では，光の高透過率と低抵抗を両立させねばならない．ここで，従来のスパッタプロセスでは，粒子ダメージと温度上昇を抑制することができない．低温成膜かつ粒子ダメージのない膜作製は，ナチュラトロンスパッタプロセスのみである．