列真株式会社
事業内容: 半導体・液晶レーザー検査装置の製造及び販売
会社方針: レーザー検査技術を駆使して、高精度・高速・低価格のレー
ザーパーティクル検査装置の製造・販売をおこない、半導
体・液晶・医療などの分野で社会貢献をしてまいります。
会社理念：
１、人は第一
お客様、従業員はもとより、事業活動にかかわるすべての人を第 一に、大切にします。
２、創造は企業の魂、品質は企業の命
フォトニクスとコレクトロニクスの分野を中心に技術研鑽を続け て、確かな品質を提供します。
３、社会に役立つ企業使命
常に地球環境を配慮して、暮らし、産業、社会に貢献します。
卓上型レーザー検査装置
特徴：
検査対象：フォトマスク石英ガラス、Siウエハ、
SiC基板、サファイア基板 。
検査内容：パーティクル、スクラッチ、ピット、
気泡、結晶欠陥。
検査感度：0.1μmPSL。
検査時間：200sec（サイズ：150x150ｍｍ）
検査範囲：8～2inchWafer@円形,6～2inch基板@方形
装置サイズ：WxDxH=740x730x1300ｍｍ（本体）
一台多役、多機能卓上型レーザー検査装置、あらゆる材料の非破壊検査に活用。
大型液晶フォトマスク欠陥検査装置
特徴：
検査対象：液晶、OLEDフォトマスク石英ガラス。
検査内容：パーティクル、スクラッチ、ピット、内部
気泡、欠陥。
検査感度：0.3μmPSL。
検査時間：60min（G8：1400x1220ｍｍ）
装置サイズ：WxDxH=2700x1500x2200ｍｍ（本体）
大型液晶フォトマスク欠陥検査装置
レーザースキャン自動焦点顕微鏡
特徴：
検査対象：パターン付Si-Wafer、Photomask。
検査内容：画像自動取り込み。
検査感度：1.0μm。
検査時間：120sec（サイズ：150x150ｍｍ）
装置サイズ：WxDxH=460x560x500ｍｍ（本体）
レーザースキャン自動焦点顕微鏡
〒1200026 東京都足立区千住旭町38-1-417
技術部
張 東勝
03-5284-6477
03-5284-6478
chotosyo@lazin.jp
http://www.lazin.jp/tokkyosyo-photo.png
レーザー散乱光欠陥装置に関する「特許査定」を認証されました
https://www.nikkan.co.jp/articles/view/00420111
第42回発明大賞【発明奨励賞】を受賞致しました
