ナチュラトロンスパッタ法は,世界唯一のスパッタ法で,プラズマ衝撃フリーによる低温スパッタ法です.当法は高密度プラズマを対向するターゲット間に拘束することにより堆積膜への二次電子衝撃によるダメージを抑制できる原理構造を特徴とする成膜技術です.この技術により,これまでのスパッタ技術では困難とされていた低温・低ダメージで高品質な薄膜を形成することができ,かつ,高い生産性有する成膜技術となっています.
今回は,電磁波防止用透明フィルム及びディスプレイ用タッチパネルを
ご紹介しております.
〒224-0054 神奈川県横浜市都筑区佐江戸町290-1 リバーサイド岡本1
最高技術責任者
平田豊明
045-530-5167
045-530-5168
adsputter1020@gmail.com
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